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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

項目背静 该半导体材料器件商家靠近珠三角地区型沿海地区,关键生产制造销售89寸大和129寸大晶圆,日尾气直接排放细则废的水量约2000吨。仍然半导体材料器件生产制造销售施工工艺繁多,污水组成齐全且有效许多难吸附物资,商家增加了除理公用设施没有办法无法逐步从紧的环境保护尾气直接排放细则细则,故投资的1000万元创建专业化污水除理站。 化工废水部分及原因 该商家废水处理基本划分为八类: 含氟废水处理工艺:出自于于晶圆蚀刻、清洁加工过程,氟化合物质量浓度高达独角兽2000mg/L; 有机肥料肥料化工废水:出自光刻、成像等工艺技术,带有异丙醇、异丙醇等有机肥料肥料石油醚,COD值在5000mg/L影响; 酸碱度化工废水:引起于清洁和面上进行处理重要环节,pH值起伏较大大; 含铜污废水 :来真空电镀和金屬化工公司艺,铜阳离子酸度约150mg/L。 治疗制作工艺注意事项 争对区别规定性的污水,用于"等级分类采集而来+分质办理+下端纵深办理"的组成制作工艺: 含氟电镀废水清理线: 多级化学上石雕文化沉淀自己:先污泥脱水氯化钙调高pH至6-7,多加入PAC和PAM二沉池石雕文化沉淀自己; 活性氧空气氧化铁离心分离:抓实氟铁离子溶度降落到8mg/L以內。 有机肥料废气进行处理线: 微电解设备反响:铁碳悬浮填料床预办理增进生活污水可生物化学性; UASB水解酸化池反應器:HRT=24h,COD删去率65%; MBR膜生物技术表现器:主要包括PVDF空心食物纤维膜,水流COD<50mg/L。 腐蚀性生活污水与系统化: 全自动pH掌握:能够网络监测技术仪掌握加酸加碱量; 斜板沉淀物池沉淀物:去掉中合存在的悬浮物物。 含铜废水进行处理工艺进行处理: 生物学放置:加药NaOH调试pH至9-10,型成氢氧化反应铜放置; 阳化合物交易:抓实铜阳化合物盐浓度<0.3mg/L。 纵深治理 摸块: 臭氧的危害促使钝化:进一个步骤生物降解难分离苯的同系物物; 活性酶炭过滤清洁:消除对比度和微量分析污染问题物; UVUV线清洁消毒:确保满水后微海洋生物要求达到。 决定性感觉 工程作业后,留水水体安全稳定到达《电子器件工农业水环境破坏物进行排放出口准则准则》(GB 39731-2020)有点进行排放出口准则卫生防护距离耍求,这里面氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。年年可缩短氟化物进行排放出口准则约120吨,COD进行排放出口准则约400吨,出售水能源约70万吨。整体自行化度高,作业成本费操纵在8.5元/吨水左古。

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