深圳某半导体材料集成电路芯片加工生产厂厂，晶圆加工生产操作过程中带来含硅、氟的专项 废气，开发治疗规模化1200吨/日。废气成份非常复杂，包含有奈米级硅颗粒物及氢佛酸，传统文化治疗步骤得以合格。 污废水 组成成分及因素 一般破坏物 ：溶液硅（100-500nm粒级）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来源于生产工序 ：晶圆刻蚀废水处理处理方法（45%）、CMP检查是否机器镜面抛光废水处理处理方法（40%）、主设备清洗阴道水（15%） 解决技艺流程步骤 什么是创新主要采用"生物结晶+特类膜分离出来"技巧自驾线路： 钙盐放置 ：污泥脱水氯化钙弄掉氟正离子（添加CaF2积淀） 斜管沉淀池生理反应 ：组合斜板沉淀池剂达成胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜挪用微细颗粒剂 超滤法软件 ：脱盐率>98%，回收并率75% 化掉成果 ：浓水段实行氟化物0排放量 以后疗效 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（达不到部委二级标准的10mg/L） 硅分量：<5mg/L 水资原造纸废水处理率：70%用作放置冷却水塔补湿 垃圾减轻：汽化渣滓量较传统的制作工艺增多60%