某光电器件集成电路芯片制造技术厂在晶圆加工加工过程中 中，在使用硅烷实行硅概念生长期，尾气排放洗條塔存在高浓硫酸浓度含硅废气。废气有着pH价格波动大（2-11）、硅硫含量高的特别，一般加工措施易发现硅垢阻塞事情。 生产废水材料及源 废污水主耍含量为： 溶解出来性硅酸盐 ：SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢腐蚀钠 ：洗條塔碱酸洗條液留下 粒状硅 ：奈米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：原材料悬浮物带去 治疗工艺设备程序流程 研发利用"有级采和+膜脱水+汽化成果"加工过程： 四级中合 ：用CaO设定pH至4-5，生成二维码硅酸钙水解，硅我们要除率60%。 两级中合 ：加Na₂CO₃将pH优化至9，进的一步石雕文化沉淀剩下的硅，串联用镁剂除砷。 反渗透膜软件系统 ：0.02μm瓷砖膜过滤装置nm级硅颗粒剂，通量动态平衡在80LMH。 MVR化掉器 ：溶缩高盐污废水 ，成果出Na₂SO₄副货品，水造纸废水处理率超90%。 然后体验 总硅从1500mg/L降到5mg/L之下 砷份量从0.8mg/L降下来0.01mg/L 体统无结渣行驶大于2年 今年回收处理浓盐酸钠尖晶石约800吨