该厂为89英寸晶圆研发线生活设施的超净水设计，每一刻引起含硅焦化废水150吨。焦化废水底虽无血本属，但硅成分高易积灰，且热敏电阻率需可达18MΩ·cm就要工农业废水进行处理。改变进行处理工学院艺是没办法满足需要新发布的《電子工农业水影响物释放规则》（GB39731-2020）很释放卫生防护距离。 化工废水材料特殊性 大部分造成的排放物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（粒级0.1-1μm） 唯一性的要求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水的硬度性质 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅化学物质体型复杂性 处里方法过程 多元化通过"梯级膜剥离+电去化合物"组成技艺： 微滤预解决 ：1μm陶瓷图片膜拦阻大粒子硅，通量持续80LMH 阳离子互转树酯 ：D201大孔聚酯树脂考虑性树脂吸附硅酸分子结构 中级RO系统性 ：一段环保再生资源回提取率60%，其次段采用了高脱硼膜部件 EDI电去铁离子 ：电压体积2A/m²，延续消除残余物阴阳离子 红外光谱杀菌消毒 ：254nm分光光度计线的用药量40mJ/cm² 高技术难点 开放专业化阻硅剂（有机的胺类pp物），减缓膜被污染的寿命3倍 EDI电源模块创新技术流道构思，硅清除率加快至99.8% 同屏在线硅研究仪（测定标准0.1-500μg/L）操纵精确操纵 启用成效显著 经第二方检测工具： 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼水平从8μg/L调至0.3μg/L 软件系统再利用率从原40%大幅提升至68% 膜撤换周期性增加至5年，年启用价格调低35%