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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

活动时代背景 该半导体行业制作机构隶属于华东区县区县,其主要制作集合用电线路电源芯片,日废气排放物含氟生活污水约800吨。鉴于本地人安全规范要求提供,已有处理生活设施时未达到氟化物废气排放物酸度少于5mg/L的新规范要求,机构投资人1400万元扩建专业含氟生活污曝气生物滤池平台。 废水处理的成分及的来源 生活污水也包括是来历于基带芯片制做过程中 中的刻蚀工艺和清洁工艺,也包括是影响物也包括: 氟正离子溶度:300-800mg/L pH值:2- 富含少量出硅酸盐、磷酸二氢钠 微量分析血本属如铜、镍等 补救技艺方法 所采用"预外理+耐腐蚀沉淀物中+的深度外理"三人组合制作工艺: 调整池:均等化水的质量水流量,設置pH百度在线监控数据 第一症状池:加药氢腐蚀钙,把控好pH至7-8,出现氟化钙悠长岁月中 五级发展池:发展提取氟化钙厌氧颗粒污泥 特殊症状池:加药氯化钙和聚合反应氯化铝,进步彻底清除稳定度氟化合物 2次奠定池:2次奠定转移 砂滤平台:出掉浮窗物 化学活化炭气体吸附:避开生产物和氢化物发生器高价属 厌氧颗粒淤泥清理模式:板框压滤脱水烘干,厌氧颗粒淤泥含水分率降为60%以上 最终能够结果 设计开机运行不稳后,溢水水质检测: 氟阳离子溶液浓度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 巨资属含水量均不高于检测限 完完全全满意《智能工农业水环境破坏物尾气排放标准标淮标淮》(GB39731-2020)符合要求,每月缩短氟化物尾气排放标准标淮约180吨。

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